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電火花加工的原理是自由正離子和電子在場中積累，很快形成一個被電離的導電通道。在這個階段，兩板間形成電流。導致粒子間發生無數次碰撞，形成一個等離子區，并很快升高到8000到12000度的高溫，在兩導體表面瞬間熔化一些材料，同時，由于電極和電介液的汽化，形成一個氣泡，并且它的壓力規則上升直到非常高。然后電流中斷，溫度突然降低，引起氣泡內向爆炸，產生的動力把溶化的物質拋出彈坑，然后被腐蝕的材料在電介液中重新凝結成小的球體，并被電介液排走。然后通過NC控制的監測和管控，伺服機構執行，使這種放電現象均勻一致，從而達到加工物被加工，使之成為合乎要求之尺寸大小及形狀精度的產品。
電火花加工是在液體介質中進行的，線切割機的自動進給調節裝置使工件和工具電極之間保持適當的放電間隙，當工具電極和工件之間施加很強的脈沖電壓（達到間隙中介質的擊穿電壓）時，會擊穿介質絕緣強度低處，如圖所示。由于放電區域很小，放電時間極短，所以，能量高度集中，使放電區的溫度瞬時高達10000-12000℃，工件表面和工具電極表面的金屬局部熔化、甚至汽化蒸發。局部熔化和汽化的金屬在bao炸力的作用下拋入工作液中，并被冷卻為金屬小顆粒，然后被工作液迅速沖離工作區，從而使工件表面形成一個微小的凹坑。一次放電后，介質的絕緣強度恢復等待下一次放電。如此反復使工件表面不斷被蝕除，并在工件上復制出工具電極的形狀，從而達到成型加工的目的。
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